分辨率／重復精度為0.1/0.5μm時，精度可高達(1.1+0.6L/600)μm。 確保垂直度(前部)達6μm，直線度達4μm。 全／半空氣浮動系統可調節氣墊。 帶有基本統計功能，另外，通過RS-232C數據輸出與帶有SPC軟件的電腦相連，可實現外部測量數據評估。 半自動測量時具有單鍵操作功能。 通過Digimatic工具實現數據輸入。 可選擇多種信息語言包括英語、德語、法語、西班牙語、意大利語、荷蘭語、葡萄牙語、瑞典語、捷克語、匈牙利語、斯諾文尼亞語、波蘭語、繁體中文*、朝鮮語**和日語。 *可選　**僅限518-341K和518-342K型